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    藍寶石晶體定向的加工流程

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    藍寶石晶體定向的加工流程

    發布日期:2021-01-21 00:00 來源:http://www.hbhdyl.com 點擊:

    長晶:利用長晶爐生長尺寸大且高品質的單晶藍寶石晶體。

    定向:確保藍寶石晶體在掏棒機臺上的正確位置,便于掏棒加工。

    掏棒:以特定方式從藍寶石晶體中掏取出藍寶石晶棒(包括去頭尾、端面磨)。

    滾磨:用外圓磨床進行晶棒的外圓磨削,得到精確的外圓尺寸精度(滾圓、磨OF面)。

    品檢:確保晶棒品質以及以及掏取后的晶棒尺寸與方位是否合客戶規格 。

    定向:在切片機上準確定位藍寶石晶棒的位置,以便于精準切片加工。

    切片:將藍寶石晶棒切成薄薄的晶片。

    研磨:去除切片時造成的晶片切割損傷層及改善晶片的平坦度。

    倒角:將晶片邊緣修整成圓弧狀,改善薄片邊緣的機械強度,避免應力集中造成缺陷,45°倒角0.1-0.2mm。 

    拋光:改善晶片粗糙度,使其表面達到外延片磊晶級的精度(先雙面拋光,再單面拋光。正面粗糙度<0.3um,背面粗糙度0.4um-1um)。

    清洗:清除晶片表面的污染物(如:微塵顆粒,金屬,有機玷污物等)。

    藍寶石晶體定向儀是目前晶體切割加工中重要的定向專用設備,在儀器設備自動化程度迅速提高的今天,國產儀器雖算不上高精度自動化儀器,但它在實際工作中發揮很大的作用。在以往的應用中,人們只利用它一種功能——測定已知晶面與某結晶面的偏差。這種側偏工作只能先用 X射線晶體定向儀照勞或定向生長單晶,在大致知道被測平面的面指數的基礎上才能進行糾偏。


    藍寶石晶體定向儀器

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