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用不同極性面外延不同的材料會表現出不同的性質

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用不同極性面外延不同的材料會表現出不同的性質

發布日期:2021-02-24 00:00 來源:http://www.hbhdyl.com 點擊:

常用的4H-SiC和6H-SiC的空間群都是P63mc,可以一眼看出點群是6mm。6mm屬于10個極性點群(1,2,3,4,6;m,3m;mm2,4mm,6mm)中的一個,所以4H-SiC和6H-SiC是極性晶體。所謂極性晶體,是指一塊晶體中至少有一個方向與其相反方向具有不同的性能,可以是電性能(熱電性能、鐵電性能)、生長性能等。

根據紐曼定律:物理性質的對稱性要高于晶體的對稱性。這種不對稱的極性,是由于晶體內部微觀的電偶極子在這個方向取向一致或趨于一致,沒有相互抵消。這個方向被稱為極軸,而極軸對應晶面為極性面。

首先影響的是生長。極性晶體的極性面的生長速率是不同的,一般正極性面的生長速度要大于負極性面。值得注意的事情是,一個晶體可以有多個極性方向、多組極性面。

而生長繼續影響性能。SiC器件一般采用硅面進行外延生長,其襯底的底面是碳極性面。事實上,在文獻N型SiC極性面對歐姆接觸性質的影響中提到,用不同極性面外延不同的材料會表現出不同的性質。


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